株式会社東京精密

Opt-scope R

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メーカー 株式会社東京精密
分類 表面粗さ・輪郭形状測定機
製品名 Opt-scope R
測定機能
粗さ, 輪郭(三次元面形状)
検出器センシングタイプ
光学白色干渉式
スタイル
オールインワン
検出器ストローク
X : 20mm Y : 1.7mm(×10レンズ使用時) Z : 1.7mm(×10レンズ使用時)
輪郭検出器の指示精度
Z : ±(0.1+|H/1000|)μm
検出器分解能
Z : 0.01nm
対物レンズレボルバ機構
あり
輸出貿易管理令該非判定
非該当
備考
・H:測定高さ(mm)です。
メーカーHP

PLUS+

 

Opt-scopeは、白色干渉法とフォーカスバリエーション法を融合し、サブナノ粗さからミリ形状までを高分解能・高速で測定できる3D表面性状測定機です。

急傾斜形状や広範囲測定にも対応し、多様な解析機能により研究・品質評価の精度向上と測定効率の改善に貢献します。

 

 

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